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日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1680次

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現操作運行。

• 可實現高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應用

 

• 分析設備

• 氣體回收系統

• 涂料設備• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導體制造工藝

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規格參數

 

 

單位

50Hz

60Hz

實際抽速

L/min

90

108

極限壓力

Pa

5.0

馬達

 

單相, 100/115/200/230V, 
150W, 4P, 電容啟動運行

滿載電流

A

2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)

2.1/2.2/1.1/1.1 
(100/115/200/230V)

重量

kg

14.0

進出氣管道直徑

 

進氣管 KF-25　出氣管 KF-16

環境溫度

°C

5 – 40

水蒸氣處理

g/天

≤5 (A.F. 開啟)

尺寸

mm

214(W) × 308(L) × 225(H)

 

四、外形圖

 

 

五、泵數曲線

 

六、對應電壓與認證

 

電壓

現行電壓

CE 認證

CSA 認證

單相, 
100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

標準

 

 

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