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日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵技術參數

發布時間： 2015-12-29　　點擊次數： 1669次

日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現操作運行。

• 可實現高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

 

 日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 二、應用

 

• 分析設備

• 氣體回收系統

• 涂料設備

• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導體制造工藝

 

 日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵 三、規格參數

 

 

單位

50Hz

60Hz

實際抽速

L/min

250

300

極限壓力

Pa

1.6

馬達

單相

 

100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動運行

 

三相

 

200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P

滿載電流

單相

A

4.8/2.6/2.4
(100/200/230V)

4.8/4.3/2.8/2.4
(100/115/200/230V) 

 

三相

 

1.6/0.9/0.9/1.0
(200/380/400/415V)

1.9/1.9/1.8/1.0
(200/208/230/460V)

重量

單相

kg

25.0

 

三相

 

23.0

進出氣管道直徑

 

進氣管KF-25　出氣管 KF-16

 

四、外形圖

 

 

五、泵數曲線

 

六、對應電壓與認證

 

電壓

現行電壓

CE 認證

CSA 認證

單相, 100V, 200-230V 
115V (60Hz)

標準

 

 

三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

標準

 

 

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